PTFE风囊泵的选购指南

PTFE风囊泵选购指南

‌一、核心材料与纯度要求‌

‌全氟材料选择‌

优先选择100% PTFE材质泵体，确保无金属部件（如O型圈、弹簧等），避免金属离子污染超纯流体。

验证材料是否通过半导体级认证（如SEMI标准），确保耐腐蚀性（兼容HF、HNO₃等强酸强碱）和耐温性（-200℃至260℃）。

‌改性材料适配性‌

若需增强机械强度或耐磨性，可考虑填充改性PTFE（如碳纤维、玻璃纤维增强），但需评估其对流体纯净度的影响。

‌二、性能参数匹配‌

‌流量与压力范围‌

根据工艺需求选择型号：如半导体清洗可选CSE30（30 L/min），大流量场景（如CMP循环）适用CSE140（140 L/min）。

确认供气压力≤7 Bar（100 psi），排放压力≤150 psi，避免超压运行导致风囊破裂。

‌脉动控制与稳定性‌

优先内置平垫脉动阻尼器的型号，减少压缩空气驱动的压力波动，保护敏感流体（如高分子溶液）的物理特性。

‌三、结构设计与兼容性‌

‌密封与防泄漏‌

选择无泄漏舌槽密封结构，避免传统橡胶密封件的化学腐蚀风险45。

验证泵体是否支持直立安装，确保止回阀正常闭合（非直立安装可能导致泄漏）。

‌流体兼容性‌

若输送含颗粒或高粘度流体（如CMP浆料），需选择流道宽、最大颗粒兼容≥1/4英寸（6.4 mm）的型号。

高温场景（如热循环系统）需确认泵体耐受温度≥100℃。

‌四、应用场景适配‌

‌半导体制造‌

超纯水/药液传输：选择通过颗粒生成测试的型号（如颗粒生成量≤0.1 μm）。

蚀刻/清洗工艺：需兼容强腐蚀介质（如HF酸），且流量波动≤±5%。

‌化工领域‌

高粘度或含固流体：需验证泵的吸入能力及流道抗堵塞设计。

‌五、维护与可靠性验证‌

‌长周期运行验证‌

要求供应商提供循环测试数据（如CSE140通过2亿次循环验证），确保寿命≥5年。

优先无阀门、轴承的结构设计，降低维护频率。

‌泄漏与耐压测试‌

索取泄漏量报告（如24小时泄漏量≤0.1 mL），验证高压稳定性（如压差≤69 psi）。

‌六、品牌与服务‌

‌认证与保修‌

优先选择具备SEMI认证的品牌（如华林科纳），并确认保修期≥2年。

‌定制化支持‌

复杂工况（如特殊尺寸法兰、非标流量）需确认供应商是否支持定制化设计与测试。

‌选购总结

根据上述维度综合评估，可高效匹配适用于半导体、化工等场景的华林科纳半导体PTFE风囊泵型号。

知识星球 芯汇联盟